APK6100E半导体行业超高纯(特种)气体稀释系统，是一款具有高精度高稀释比的升级产品，可配制五种标气的混合气(可定制),稀释比可达到1:10000，二级稀释，高精度，带有加湿功能，可用于传感器生产商，半导体生产商的产品测试及科研院所的科学研究。可根据用户要求定制。

    特点：

    苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;

    带有加湿功能，可控制稀释后气体湿度

    高精度质量流量计（MFC），配制气体浓度精准

    可选配液体标样稀释模块

    功能：
    1、单一/混合气体配制
    通过质量流量控制器（MFC）顺序连接两种或多种标准气体，如顺序稀释或产生混合气体。可以单独稀释多种标准气体，也可以通过同时稀释多种的标准气体来产生混合气体。
    2、苏玛罐罐冲
    该系统配备了压力传感器，以精确的压力将稀释气体引入罐中。
    3、控制温度和湿度
    自动调节温度和湿度，在各种条件下连续产生气体。
    4、液体标样气化稀释
    可选配液体标样稀释模块
    5、颗粒物发生装置
    可选配颗粒物发生装置，模拟各种工况
    以上功能均可根据客户实际需求组合定制。

    应用：

    传感器生产商

    半导体生产商

    科研院所

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■可配置液体或气体样品；

■可实现标样加湿功能；

■两级高精度MFC控制；

■稀释比高；

■全自动运行，直接读取浓度，ppm，ppb或ppt；

■可针对不同用户的稀释要求定制产品。